简要描述：2003年日本电子推出了世界商业化场发射电子探针（FE-EPMA），此后被广泛地应用于金属、材料、地质等各个领域，并获得了的赞誉

肖特基场发射电子探针Plus

• JXA-8530F Plus采用浸没式肖特基场发射电子枪,优化了角电流密度，能利用2 μA以上的大探针电流进行分析，还提高了分析条件下的二次电子像的分辨率。

高级软件

• 新开发了多种基于Windows操作系统的软件，其中包括：能使痕量元素分析更加简便的“痕量元素分析程序"、能自动制作相图的“相图制作器"以及只需简单输入就能对表面凹凸不平样品进行测试的“不平坦样品的分析程序"等。

灵活的WDS配置

• X射线波谱仪可以选择140 R或100 R罗兰圆， 罗兰圆半径为140 mm的XCE/L型X射线谱仪检测范围宽，波长分辨率高和P/ B比优异，100 mm的H型X射线谱仪具有X射线衍射强度高的特点，可以根据需要选择使用。

WDS/EDS组合系统

• JXA-8530FPlus标配了JEOL制造的30平方毫米 SD检测器（以下简称SD检测器），凭借高计数率的SD检测器，在与WDS相同的分析条件下可以进行EDS分析，通过简单的操作就能采集EDS谱图。

强力、清洁的真空系统

• 高强力真空系统包括两台磁悬浮涡轮分子泵， 镜筒内还采用两个中间室，通过差动抽气保持电子枪室的高真空。

软X射线分析谱仪 (SXES)

• SXES (Soft X-Ray Emission Spectrometer)软X射线分析谱仪是日本东北大学多元物质科学研究所（寺内正己教授）和日本电子株式会社共同开发的的高分辨率软X射线分析谱仪。 新开发的变栅距衍射光栅(VLS）和高灵敏度的CCD相机组合，同时检测Li-K系谱线和B-K系谱线，该谱仪实现了的能量分辨率，因而能进行化学结合状态分析等。

miXcroscopy （关联显微镜)

• miXcroscopy 光学显微镜/扫描电子显微镜关联系统能批量登录光学显微镜指定的坐标数据作为EPMA的分析点，该系统于需要用光学显微镜决定分析位置的样品。

多功能样品室

• 样品室的可扩展性强，配备了样品交换室，可以安装各种附件。

可以安装的附件：

• 电子背散射衍射系统（EBSD）
• 阴极荧光检测系统
• 软X射线分析谱仪
• 不暴露在大气环境下的转移舱
• 高蚀刻速率的离子源

电子探针可以对试样中微小区域（微米级）的化学组成进行定性或定量分析，可以进行点、线扫描（得到层成分分布信息）、面扫描分析（得到成分面分布图像）。还能全自动进行批量定量分析。由于电子探针技术具有操作迅速简便、实验结果的解释直截了当、分析过程不损坏样品、测量准确度较高等优点，在冶金、地质、电子材料、生物、医学、考古以及其它领域中得到日益广泛地应用，是矿物测试分析和样品成分分析的重要工具。