简要描述：软X射线分析谱仪(SXES:SoftX-RayEmissionSpectrometer)通过组合新开发的衍射光栅和高灵敏度Ｘ射线CCD相机，实现了的能量分辨率

产品规格

• 能量分辨率0.3eV（Al-L 光谱图73eV处测试）
• 获取能量范围：衍射光栅JS50XL的能区50-170eV
• 获取能量范围：衍射光栅JS50XL的能区70-210eV
• 分光谱仪艙安装位置：
• EPMA的WDS接口：NO.2接口（正面右侧）
• FE-SEM的WDS接口（正面左后侧）
• 分光谱仪尺寸　W 168mm×D 348mm ×H 683mm
• * 从接口包括CCD的距离
• 分光谱仪重量　25kg

适用机型

• EPMA ： JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200
• SEM ： JSM-7800F, JSM-7800 Prime, JSM-7100F

电子探针可以对试样中微小区域（微米级）的化学组成进行定性或定量分析，可以进行点、线扫描（得到层成分分布信息）、面扫描分析（得到成分面分布图像）。还能全自动进行批量定量分析。由于电子探针技术具有操作迅速简便、实验结果的解释直截了当、分析过程不损坏样品、测量准确度较高等优点，在冶金、地质、电子材料、生物、医学、考古以及其它领域中得到日益广泛地应用，是矿物测试分析和样品成分分析的重要工具。