简要描述：该场发射电镜采用镜筒内减速及“三物镜"技术，实现10V低压下1.1nm超高分辨成像。支持超大视野、景深等多模式一键切换，轻松观测绝缘及磁性样品细节。

产品介绍（核心技术亮点）

1. 镜筒内电子束减速技术

搭载镜筒内减速技术，在极低着陆电压下仍可以有效控制像差，提供超高分辨成像水平。

2. “三物镜" 技术

物镜系统由两组电磁透镜和一组静电透镜组成，三组物镜均可独立控制并任意组合以聚焦电子束；三种物镜的灵活组合可以应对更加多样的观测场景，用户在不改变工作距离的前提下即可实现一键全自动切换超大视野、超大景深、超高分辨等多种成像模式。

3. MD 多功能能量选择探测器

可同时收集 SE、中角度 BSE 信号，生成同时展示形貌衬度与成分衬度、突出样品表面轮廓的图像；能量滤波网格设计，SE 信号、BSE 信号（<4000eV）可被滤掉，增强样品表面特征的 BSE 衬度。

技术参数与优势

参数项规格说明

电子枪高亮度肖特基电子枪

镜筒技术镜筒内减速技术；“三物镜" 技术（双组磁透镜，单组电透镜）

分辨率高真空：0.6nm@15kV；1.1nm@1kV；1.2nm@500V

放大倍率×2 ~ ×2,000,000

可成像电压10V

束流1pA-400nA，连续可调

最大成像视野≥80mm

样品台行程X=130mm, Y=130mm, Z=100mm

样品台倾斜角度-70° ~ +90°

电子枪极限真空< 5×10⁻⁸Pa

主仓室极限真空< 5×10⁻⁴Pa

换样时间< 3.5 分钟

整机尺寸 / 重量L×W×H: 760mm×960mm×1850mm；750kg

仪器特点

1. 超高分辨能力

旗舰级场发射电子光学镜筒

最高分辨能力可达 1.1nm@1kV，0.6nm@15kV

2. 镜筒内减速

配备镜筒内减速技术，可提供低至 10V 的超低能量超高分辨成像能力，轻松观察样品极表面细节

绝缘样品、不耐辐照样品、磁性样品均可稳定观测

3. 多模式一键切换（原文未展示，按现有内容整理）

支持超大视野、超大景深、超高分辨等多种成像模式一键切换，无需调整工作距离，适配多样观测场景。